水中半導体製造法 29
ストーリー by Oliver
ムーアの法則を延命 部門より
ムーアの法則を延命 部門より
asmodeus_mt 曰く、 "ニューヨーク州北部の地方紙「Democrat and Chronicle」によるとロチェスター工科大学の精密機械工学部教授ブルース・スミス氏とその研究チームは半導体の製造において新手法を開発し、注目を浴びているそうだ。スミス教授が開発した新手法の原理は顕微鏡などでスライドに油を落として高倍率で拡大するのと同じ表面張力による光屈折の原理を応用している。ウェィファーを水中に沈め仮想的に拡大させ、今までより高密度な半導体の製造を可能にする。
インタビューの中でスミス教授は「最初、ほとんどの企業はうまくいったら何人かの就職口を斡旋するよ、と懐疑的だったが、今や注目の的だ。」と答えてる。事実、大手プロセッサーメーカーのIntelやIBM、Motorolaなどが研修に来たり、ひっきりなしに問い合わせがくるそうだ。またスミス教授は「ここ数年、2010年までには現在の製造手法での限界がくると言われていたが、この新手法によってそれを回避する事が可能だ」と答えている。現在ではまだ実験段階だが、次は大手メーカーと組んでこれを商品レベルまで持っていくのが現在の目標との事。精密機械工学部は再来年のカリキュラムにはこの技術を教えるコースを組み込む予定だそうだ。"
本家でも (スコア:2, 参考になる)
詳細情報リンク [slashdot.org]とか油は水に優る [slashdot.org](この物質ならもっといいぞという返信 [slashdot.org]もあります)、
本質的な技術革新ぢゃねぇよなステステ [slashdot.org]
などといったOn Topicなコメント [slashdot.org]が投稿されています。
是非参考にしてみてください。
/.configure;oddmake;oddmake install
シリコンウェハー側だけを (スコア:1)
水に沈めてるのか,それとも光学系全体を水に沈めてるのか,どっちなんだろ. ウェハー側だけを水に沈めるのは,水面の制御が難しいような気も.
水中では光速が低くなるので,同じ振動数のランプを使用しても波長が短くなり,解像度は高くなる. というわけで,系全体が水没というのもあるのかも.
Re:シリコンウェハー側だけを (スコア:1)
コストは高くなりそうな。
-- To be sincere...
Re:シリコンウェハー側だけを (スコア:0)
Re:シリコンウェハー側だけを (スコア:0)
ただ均熱やパーティクルの問題の解決にもなりそうな。
…どうやらただの液浸らしいですが。
装置全体を水没させるとハンドリングが大変そう。
水中でウエーハを表裏ひっくり返すの考えたら気持ち悪くなりますよね。
Re:シリコンウェハー側だけを (スコア:0)
顕微鏡観察でおなじみの液浸では? (スコア:1)
タイプのは各社開発中では。
Re:顕微鏡観察でおなじみの液浸では? (スコア:3, 参考になる)
ちょっと前まではF2レーザを用いたリソグラフィが次世代の技術として開発が進められていましたが、いくつかの開発アイテムの障壁が高く難航していたところへ、昨年、
IntelがF2リソグラフィを採用せず、ArFレーザ(とその液浸)その次としてEUVを用いると発表してから、業界がなだれをうったように液浸技術の適用へと方向を変えました。ASML、ニコン、キヤノンもこぞって対応機の開発を進めています。
液浸技術を適用した場合には、基本的にはステッパーのレンズ改善と流体系を装着する等の既存ArFステッパーの改造ですむため、開発、装置のコストが少ないというメリットがあります。
もちろん、水の制御(水温、泡)やレジストの溶出などの問題はありますが、現在では実用化にほぼ問題がないと考えられており、原理検証はほぼ完了して実機設計の段階です。液体は現在のところ純水ですが、将来的にはさらに高屈折率の液体も研究されることでしょう。
Re:顕微鏡観察でおなじみの液浸では? (スコア:1)
ISMT、ArF液浸技術の開発が加速と発表、量産検証段階に突入 [electronicjournal.co.jp]
Re:顕微鏡観察でおなじみの液浸では? (スコア:2, 参考になる)
というのが原理みたいです。
※液浸 [nikon-instruments.jp]とは。
GUST NOTCH な気分でいこう!
Re:顕微鏡観察でおなじみの液浸では? (スコア:2, 参考になる)
タレコミ文にツッコミ:表面張力による屈折率? (スコア:1)
>同じ表面張力による光屈折の原理を応用している。
液浸は表面張力での光屈折ではありませんってば。
#当たり前すぎるボケなので、みんなわざと無視してるのかな?
伝導媒体の違いによる光屈折率の差を利用しているのではないですか?
#液浸の溶液保持には表面張力を利用してるはずですが。
顕微鏡の原理や液浸などについてはここ [titech.ac.jp]が詳しいみたいですね。
---- redbrick
いやあの… (スコア:0)
ウェハーでいいのでは?
ウェィファーはないよね (スコア:1, 参考になる)
Re:ウェィファーはないよね (スコア:1)
Googleで検索してみました (スコア:1)
>ウェハーでいいのでは?
ウェーハ 29,100件
ウエハー 13,000件(ウエハー -"ウエハ")
ウエハ 12,800件(ウエハ -"ウェハ" -"ウエハー")
ウェハ 11,400件(ウェハ -"ウェハー" -"ウエハ")
ウェハー 8,950件
ウェファ 1,790件
ウェィファー 1件
Re:Googleで検索してみました (スコア:0)
Re:いやあの… (スコア:0)
Re:いやあの… (スコア:0)
Re:いやあの… (スコア:0)
ウェハとかウェーハとかウェハーとかウエハとかウエハーとか。
なんかね (スコア:0, 余計なもの)
と感想を持ったをゐらはかなりおぢさま。
Kiyotan
Re:なんかね (スコア:1)
新作(映画)では「Iシステム」と名前が
代っているようですが.
# そういう私もおじさん.
Re:なんかね (スコア:1)
いやね、その装置には「空中元素固定法」が使われてるのかな?
と勝手に思ったわけなんですよ。一応お題の方は「法」なんで。
Kiyotan
Re:なんかね (スコア:0)
スレと関係ないのでAC
Re:なんかね (スコア:1)
「空中で元素を固定する装置」だと
思っていたが...
だって空中の元素だけでは足りないから,
着ている服を分解しているのでは?
(と強引に解釈している.)
Re:なんかね (スコア:0)
与太なので AC
Re:なんかね (スコア:0)
いやもちろん、元素変換をやってると思ってました。
ただ、それだと湿気があれば水素の核融合が使えるから、エネルギー切れはないはずなんだがなー。
Re:なんかね (スコア:1)