/tmp/.X11-unix/
の下にロックファイル(X1とか)があるので、それを消す。
でないと vncserver が起動できない。
# already running になる。

判ってみれば、現象的には当たり前のことなのだが、 systemctl 経由で立ち上がっている場合、ログには「INVALID ARGUMENT」と出てくるので、かなり悩んだ。